億天凈化參與修訂《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制技術(shù)要求》GB/T 36306-2024 國家標準
- 2024-07-10
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- 深圳市億天凈化技術(shù)有限公司
國家標準《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制技術(shù)要求》GB/T 36306-2024由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標準化技術(shù)委員會(huì )(SAC/TC 319)提出并歸口,中國電子工程設計院股份有限公司、中國電子系統工程第三建設有限公司、中國電子系統工程第二建設有限公司、中國科學(xué)院大氣物理研究所、深圳市億天凈化技術(shù)有限公司、天津大學(xué)等單位共同起草。2018年首次發(fā)布為GB/T 36306-2018,本次為第一次修訂。
本文件代替GB/T 36306-2018《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣化學(xué)污染控制指南》,與GB/T 36306-2018相比,除結構調整和編輯性改動(dòng)外,主要技術(shù)變化如下:
a)更改了標準適用范圍(見(jiàn)第1章,2018年版的第1章);
b)刪除了空氣分子污染、環(huán)境反應監測法、污染物、氣相空氣凈化裝置等術(shù)語(yǔ)(見(jiàn)2018年版的3.1、3.2、3.3、3.4);
c)增加了按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度、釋出氣體等術(shù)語(yǔ)(見(jiàn)3.1、3.3);
d)更改了空氣化學(xué)污染物的定義(見(jiàn)3.2,2018年版的3.5);
e)更改及增加了污染源來(lái)源(見(jiàn)4.1、4.2,2018年版的4.1),刪除了分級與分類(lèi)(見(jiàn)2018年版的4.2);
f)增加了一般要求、設計、施工及運行維護等空氣化學(xué)污染控制內容(見(jiàn) 5.1、5.2、5.3、5.4),刪除了確定是否污染及情況、控制措施的內容(見(jiàn)2018年版的6.1、6.2);
g)更改標題“檢測”為“檢測與監測”(見(jiàn)第6章,2018年版的第5章),更改了檢測的內容(見(jiàn)6.1,2018年版的5.1、5.2),增加了監測的內容(見(jiàn)6.2)。
本文件的空氣化學(xué)污染控制技術(shù)主要針對有空氣化學(xué)污染控制要求的潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境??諝饣瘜W(xué)污染物的分子尺寸范圍為0.1nm~3nm,通常狀態(tài)下是以氣體或蒸氣形態(tài)存在,常規高效過(guò)濾器和超高效過(guò)濾器無(wú)法有效去除,使用粒子計數器也檢測不到。
空氣化學(xué)污染物種類(lèi)較多,不同污染物具有不同的化學(xué)性質(zhì),某些污染物的濃度可隨環(huán)境的溫度、濕度變化而改變,且污染物來(lái)源具有很大的隨機性。隨著(zhù)凈化技術(shù)和材料的發(fā)展,空氣化學(xué)污染物可以被有效控制和去除,能夠保障潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內空氣化學(xué)污染物滿(mǎn)足環(huán)境限定要求。
國際器件與系統路線(xiàn)圖(IRDS)晶圓環(huán)境污染控制數據表
億天凈化作為潔凈技術(shù)應用綜合解決方案提供商,提供的解決方案在電子半導體等多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應用,為眾多客戶(hù)提供了穩定、合規、綠色的潔凈環(huán)境。未來(lái)將繼續深度參與構架標準化建設,積極促進(jìn)標準的落地執行,促進(jìn)潔凈產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,為高端制程工藝保駕護航。
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